導師姓名(ming)

張果虎

性別

男

出生年月

1967年12月(yue)

所在室所

半導體材料國家工程研究中心

技(ji)術職稱

教授(shou)級高級工程師

招生專(zhuan)業

材料科(ke)學與工程

聯系電話(hua)

010-82087080

E-mail

zhangguohu@gritek.com

研究(jiu)方向

1.大直徑(jing)硅單晶制備(bei)技術研究

2.大尺寸(cun)硅片加工(gong)技術研究

個人簡況

1990年畢業(ye)(ye)(ye)于(yu)中南工(gong)業(ye)(ye)(ye)大(da)(da)(da)學(xue)應用物理專業(ye)(ye)(ye)，獲(huo)學(xue)士(shi)學(xue)位(wei)。2004年畢業(ye)(ye)(ye)于(yu)中國(guo)人民(min)大(da)(da)(da)學(xue)獲(huo)工(gong)商管理碩士(shi)學(xue)位(wei)，正高級工(gong)程(cheng)師，國(guo)務院特殊(shu)津貼(tie)專家(jia)。研(yan)究課題主要圍繞：1）大(da)(da)(da)直(zhi)徑單晶(jing)性(xing)能研(yan)究、工(gong)藝研(yan)究、熱場設(she)計、缺陷控制；2）大(da)(da)(da)尺寸硅片的(de)損(sun)傷控制、精密(mi)加工(gong)、潔凈技術技術研(yan)究。

長期從(cong)事半導(dao)體硅(gui)材料(liao)及工(gong)程(cheng)化技(ji)術研究(jiu)。先后參(can)與和(he)承擔了(le)國(guo)家“八五(wu)(wu)”、“九五(wu)(wu)”、“十五(wu)(wu)”、“908”、“909”和(he)“國(guo)家示范工(gong)程(cheng)”等國(guo)家重大(da)攻關課題，研制成(cheng)(cheng)功了(le)國(guo)內第一(yi)根直徑6英(ying)(ying)(ying)寸(cun)、8英(ying)(ying)(ying)寸(cun)、12英(ying)(ying)(ying)寸(cun)和(he)16英(ying)(ying)(ying)寸(cun)硅(gui)單(dan)晶(jing)。參(can)與成(cheng)(cheng)功建設具有自主知識產權(quan)的國(guo)內第一(yi)條6、8英(ying)(ying)(ying)寸(cun)硅(gui)單(dan)晶(jing)拋(pao)光(guang)片生產線。

建(jian)(jian)立(li)了我(wo)國(guo)(guo)(guo)第一(yi)條300mm硅材(cai)料生產線(xian)，開(kai)發出(chu)全球領先的(de)450mm硅單晶生長(chang)技(ji)術。主持國(guo)(guo)(guo)家科技(ji)重大專項(xiang)“200mm硅片(pian)產品(pin)技(ji)術開(kai)發與產業化(hua)(hua)能力提升”項(xiang)目，率先實現200mm硅片(pian)在國(guo)(guo)(guo)內的(de)產業化(hua)(hua)。建(jian)(jian)立(li)我(wo)國(guo)(guo)(guo)首(shou)個300mm硅材(cai)料設(she)備研(yan)制平臺(tai)，推進了半導(dao)體硅材(cai)料用(yong)裝備（300mm單晶爐(lu)等(deng)）和(he)原(yuan)輔材(cai)料（石英坩堝(guo)、化(hua)(hua)學試(shi)劑(ji)等(deng)）的(de)國(guo)(guo)(guo)產化(hua)(hua)應用(yong)。

榮獲十余(yu)項國家及部級(ji)科研成果獎勵。授權(quan)專(zhuan)利(li)30余(yu)項，其中參與發(fa)明創造的(de)“一種用于直(zhi)拉硅單晶制備中的(de)摻雜方法及其裝置”獲2008年第十屆中國專(zhuan)利(li)金(jin)獎。發(fa)表(biao)論文30余(yu)篇。2009年評選(xuan)為有色金(jin)屬行業(ye)勞動模范(fan)。

Update 2020.02