2017年5月8日(ri),國(guo)家(jia)科技(ji)重大專(zhuan)(zhuan)項(xiang)(xiang)“極大規模集成電路制造裝(zhuang)備及成套工藝”(簡稱“02重大專(zhuan)(zhuan)項(xiang)(xiang)”)實施管理(li)辦公室和總體(ti)(ti)組組織任(ren)務專(zhuan)(zhuan)家(jia)組和財務專(zhuan)(zhuan)家(jia)組對有研半導(dao)體(ti)(ti)承(cheng)擔的(de)“200mm硅片產品技(ji)術開(kai)發與(yu)產業化(hua)能(neng)力提升”項(xiang)(xiang)目進行了(le)正式(shi)驗收。北京市經濟和信息化(hua)委員會(hui)主管領導(dao)及02專(zhuan)(zhuan)項(xiang)(xiang)總體(ti)(ti)組技(ji)術總師到會(hui)。我院(yuan)(yuan)黃松濤副(fu)(fu)院(yuan)(yuan)長(chang)和周旗(qi)鋼(gang)副(fu)(fu)院(yuan)(yuan)長(chang)參加了(le)驗收會(hui)。參會(hui)人員還包括(kuo)會(hui)計(ji)師事務所項(xiang)(xiang)目主審、用戶代(dai)表、項(xiang)(xiang)目責(ze)任(ren)專(zhuan)(zhuan)家(jia)、項(xiang)(xiang)目(課(ke)題)負責(ze)人、地方科技(ji)主管部門人員及我司參與(yu)項(xiang)(xiang)目的(de)主要骨(gu)干。
該(gai)項目形成了200mm硅(gui)(gui)單(dan)晶拋光(guang)(guang)片和200mm硅(gui)(gui)外延(yan)片制備的(de)(de)成套技術(shu),建成月產(chan)10萬(wan)片的(de)(de)生產(chan)線,自主開發了200mm硅(gui)(gui)單(dan)晶輕摻拋光(guang)(guang)片、200mm硅(gui)(gui)單(dan)晶重(zhong)(zhong)摻拋光(guang)(guang)片等重(zhong)(zhong)點產(chan)品,達(da)到0.13微米(mi)技術(shu)水平(ping),產(chan)品為國內領先集成電路廠(chang)商批量應用,并獲得海外知(zhi)名廠(chang)商的(de)(de)正片訂單(dan)。經(jing)過任務(wu)資料(liao)審查、財務(wu)資料(liao)審查、現場測試、現場考察、任務(wu)會議(yi)驗(yan)收(shou)(shou)(shou)、財務(wu)會議(yi)驗(yan)收(shou)(shou)(shou)等多個(ge)環節的(de)(de)驗(yan)收(shou)(shou)(shou),與會專家認為各項任務(wu)和指(zhi)標均已(yi)達(da)成,一致同意項目及其(qi)兩個(ge)課題通過任務(wu)和財務(wu)驗(yan)收(shou)(shou)(shou),并給予優(you)秀(xiu)分數評價。
該項目(mu)(mu)(mu)是有研半導體近年來(lai)重點開(kai)展(zhan)的(de)核心技術(shu)產(chan)(chan)業(ye)化(hua)項目(mu)(mu)(mu),項目(mu)(mu)(mu)的(de)順利開(kai)展(zhan)實現了(le)我(wo)國200mm硅材(cai)料產(chan)(chan)業(ye)升級,使企(qi)業(ye)獲得(de)了(le)科(ke)研成果(guo)和市(shi)(shi)場(chang)經濟效應的(de)雙豐收,促進了(le)公(gong)司產(chan)(chan)品(pin)結構優化(hua)調整。目(mu)(mu)(mu)前(qian)200mm硅片產(chan)(chan)品(pin)市(shi)(shi)場(chang)需求旺(wang)盛(sheng),具有良(liang)好的(de)發展(zhan)前(qian)景,公(gong)司將抓住市(shi)(shi)場(chang)機遇、擴大市(shi)(shi)場(chang)份額、持續穩定發展(zhan)。